2025-10-13电子特气之元素化学—刻蚀能手八氟环丁烷(c-C4F8)
八氟环丁烷(Octafluorocyclobutane,CAS 号:115-25-3,制冷剂简写RC-318/R318)是一种全氟环烷烃,其分子结构和基本性质使其在工业领域具有独特价值。尤其是高纯产品作为等离子体蚀刻气体,用于制造 90nm 以下的集成电路;高温分解产生的活性氟原子可清除反应腔残留物,提升晶圆良率。01 基本性质一、分子结构组成与构型:...
了解详情Copyright 2020-2024 浙江冷王科技有限公司 版权所有
浙公网安备33089102000196 备案号:浙ICP备18054759号-2
地址:浙江省 衢州市 柯城区 白云中大道9号 电话:151-5795-9922 邮箱:mif@lw-tech.com.cn